与氧等离子体相反，氧等离子体反应仪而经含氟气体的低温等离子体处理，可在基材表面引入氟原子，使基材具有憎水性。 聚合： 很多乙烯基单体，如，乙烯、苯乙烯、都可以在等离子体条件下，不要其他任何催化剂和引发剂而在工件表面实现，聚合，甚至甲烷，乙烷，苯这些在常规聚合条件下不能聚合的物质，都可以在等离子体条件
